产品名称：等离子体腔体射频匹配网络模块产品简介：连接射频电源与等离子体腔体的关键匹配部件，自动调节阻抗，使射频电源输出的能量最大限度耦合到腔体内等离子体中，提升能量利用率与工艺稳定性。技术规格
- 适配功率：300W–1000W
- 工作频率：13.56MHz
- 匹配时间：≤100ms
- 控制方式：自动匹配（内置微处理器）功能特点
- 快速自动阻抗匹配，适应等离子体负载动态变化
- 能量传输效率高，降低电源损耗，提升工艺效率
- 具备驻波比（VSWR）保护，防止反射功率损坏电源
- 结构紧凑，安装于腔体与电源之间，节省空间
- 免维护设计，长期稳定运行应用场景
- 射频等离子清洗机、去胶机的能量耦合
- 半导体射频刻蚀设备的阻抗匹配
- 射频等离子体增强沉积（PECVD）设备
- 射频溅射镀膜设备的能量传输匹配
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 