产品名称：等离子体设备精密气体流量控制模块（升级型）产品简介：95-0503 的升级版本，在基础流量控制功能上，提升了控制精度、响应速度与稳定性，适配更高要求的半导体先进工艺。技术规格
- 流量范围：0–1000sccm
- 控制精度：±0.5% FS
- 响应时间：≤200ms
- 材质：超高纯 316L EP（电解抛光）不锈钢
- 泄漏率：≤5×10⁻¹⁰ Pa・m³/s功能特点
- 超精密流量控制，满足先进制程对气体配比的严苛要求
- 更快的响应速度，适配动态工艺调节
- 超高纯材质，降低气体污染风险
- 支持多模块并联，实现大流量控制
- 具备自诊断功能，便于设备维护与故障排查应用场景
- 先进半导体（7nm 及以下）工艺的等离子刻蚀与沉积
- 高端 MEMS 器件制造的精密气体控制
- 量子点、化合物半导体的等离子体工艺
- 高端光学元件的等离子表面处理
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 