产品名称：等离子体腔体压力传感器与控制组件产品简介：由 95-0503 高精度压力传感器与 95-2665 A 压力控制单元组成，实时监测腔体真空度，并通过调节真空泵与进气阀，实现腔体压力的精准闭环控制。技术规格
- 压力测量范围：1×10⁻⁷ Torr–760Torr（全量程）
- 测量精度：±0.1% FS
- 控制响应时间：≤500ms
- 输出信号：4–20mA、0–10V、RS-485功能特点
- 全量程高精度压力测量，适配从高真空到常压的工艺需求
- 闭环控制稳定，压力波动小，保障工艺重复性
- 具备压力超限报警与保护功能
- 支持多种信号输出，适配不同控制系统
- 抗干扰能力强，在等离子体环境下稳定工作应用场景
- 等离子清洗、去胶、刻蚀工艺的腔体压力控制
- 真空镀膜、沉积设备的真空度稳定控制
- 半导体工艺设备的真空系统监控
- 科研真空设备的压力精确调节
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 