产品名称：等离子体腔体进气 / 排气过滤组件产品简介：由 95-0503 进气过滤器与 95-3014 排气过滤器组成的气体净化单元，分别对进入腔体的工艺气体进行精密过滤，对排出的尾气进行净化处理，保障工艺纯度与环保排放。技术规格
- 过滤精度：进气 0.01μm，排气 0.1μm
- 材质：316L 不锈钢壳体，PTFE / 玻璃纤维滤材
- 工作温度：-20℃–150℃
- 最大工作压力：10bar功能特点
- 双重过滤，有效去除气体中的颗粒杂质、油雾与水分
- 滤材使用寿命长，更换周期长，降低运营成本
- 结构紧凑，便于安装在气体管路与排气系统中
- 符合半导体行业气体纯度标准，保障晶圆洁净度
- 排气过滤器可吸附有害气体，降低环境污染应用场景
- 半导体工艺气体（高纯 O₂、N₂、Ar、特种气体）过滤
- 等离子设备尾气处理，去除氟化物、碳化物等有害成分
- 平板显示、光伏行业的工艺气体净化
- 科研实验室高纯气体供应系统
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 