产品名称：等离子体系统温度控制模块产品简介：用于 Gasonics 等离子设备腔体、晶圆载台、气体管路等部位的精密温度控制部件，保障工艺过程中温度稳定，避免温度波动影响工艺效果。技术规格
- 控温范围：室温–300℃
- 控温精度：±0.5℃
- 加热方式：电阻加热或红外加热
- 冷却方式：水冷或气冷
- 传感器类型：PT100 铂电阻，测温精准功能特点
- 闭环温度控制，响应速度快，温度波动极小
- 支持多区域独立控温，适配复杂腔体结构
- 具备超温报警与自动断电保护，安全可靠
- 控温参数可自定义存储，适配不同工艺需求
- 与设备主控制系统无缝集成，实现温度与工艺联动应用场景
- 等离子去胶过程中的晶圆温度控制
- 等离子刻蚀、沉积工艺中的腔体温度稳定
- 晶圆载台的精密加热与冷却，保障晶圆均匀性
- 气体管路加热，防止气体冷凝与污染
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 