产品名称：等离子体设备微波源驱动模块产品简介：为 Gasonics 微波等离子体设备提供微波能量的驱动单元，将电能转换为 2.45GHz 微波功率，激发腔体内气体形成高密度、高均匀性等离子体。技术规格
- 输出功率：600W–1200W
- 工作频率：2.45GHz（ISM 工业科学医疗频段）
- 电源输入：单相 220V AC
- 冷却方式：水冷（高效散热，保障连续运行）
- 控制接口：模拟量 / 数字量控制，支持功率连续可调功能特点
- 微波功率输出稳定，等离子体密度均匀，工艺一致性好
- 具备微波反射保护，防止负载异常损坏设备
- 功率调节范围宽，适配不同工艺需求
- 集成度高，体积紧凑，便于设备内部安装
- 支持远程启停与功率调节，适配自动化生产应用场景
- 半导体晶圆微波等离子去胶（灰化）
- 大面积基板（如玻璃、蓝宝石）的等离子清洗
- 材料表面的微波等离子体改性与活化
- 医疗器械的等离子体灭菌与表面处理
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 