产品名称：等离子体腔体真空隔离阀组件产品简介：安装于 Gasonics 等离子设备腔体与真空泵之间的关键气动 / 电磁阀门，实现腔体真空环境的快速隔离、密封与压力控制，保障工艺真空度稳定。技术规格
- 通径：DN50–DN100（适配不同腔体规格）
- 工作压力：1×10⁻⁷ Torr–1atm
- 驱动方式：气动（压缩空气驱动）或电磁驱动
- 密封材质：全氟橡胶（FFKM），耐高温、耐腐蚀
- 响应时间：≤1 秒功能特点
- 密封性能优异，真空泄漏率极低，保障腔体高真空环境
- 开关动作迅速，减少工艺等待时间，提升设备产能
- 适配多种真空环境，耐等离子体腐蚀与高温
- 具备位置反馈信号，便于控制系统监控阀门状态
- 结构坚固，使用寿命长，降低维护频率应用场景
- 等离子清洗机、去胶机的腔体真空控制
- 半导体刻蚀设备、沉积设备的真空隔离
- 真空镀膜设备的腔体与泵组隔离
- 科研真空系统的快速密封与压力调节
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 