产品名称：等离子处理设备控制模块产品简介：Gasonics AWD-D 系列专用控制单元，是等离子清洗、去胶等设备的核心电子控制组件，负责精准调控设备工艺参数与运行逻辑。技术规格：
- 适配 Gasonics AWD 系列等离子处理系统
- 集成多路信号采集与输出接口，支持模拟量与数字量控制
- 工作电压：24V DC，功耗≤15W
- 工作温度：0–45℃，存储温度：-20–60℃
- 防护等级：IP20（室内安装）功能特点：
- 实现气体流量、真空度、温度、功率等关键参数闭环控制
- 内置故障诊断与报警功能，支持实时状态监控
- 模块化设计，便于设备维护与部件替换
- 兼容设备主控系统，支持远程通信与参数设定应用场景：半导体晶圆等离子清洗、光刻胶剥离、表面改性设备的核心控制单元。
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 