产品名称：等离子腔体控制模块产品简介：AWD-D 系列子模块，专用于等离子处理腔体的工艺控制，保障腔体内部等离子体生成与反应过程稳定。技术规格：
- 适配单腔体等离子处理设备（如 L3510、A2000 系列）
- 支持 2 路工艺气体流量控制（MFC 接口）
- 腔体压力控制范围：0.5–5 Torr
- 温度控制精度：±1℃
- 通信接口：RS-485/Modbus功能特点：
- 独立控制腔体等离子激发、维持与熄灭流程
- 精准调节腔体压力、气体配比与反应时间
- 具备腔体状态自检与异常保护功能
- 与设备主控模块协同，实现多腔体同步或独立运行应用场景：半导体 6/8 英寸晶圆干法去胶、腔体等离子清洁、晶圆表面活化处理设备。
Gasonics AWO-1-8 
Gasonics 17330-0 
Gasonics 15698-02 