产品名称：等离子设备射频匹配网络组件产品简介：Gasonics 等离子系统射频（RF）传输关键部件，实现射频电源与等离子腔体的阻抗匹配，提升等离子激发效率。技术规格：
- 适配频率：13.56MHz/2.45GHz
- 功率范围：0–1200W
- 匹配方式：自动 / 手动可调
- 输入阻抗：50Ω，输出阻抗：动态匹配
- 冷却方式：风冷 / 水冷可选功能特点：
- 快速响应负载变化，维持射频功率稳定传输
- 减少射频反射功率，保护电源与腔体电极
- 宽范围阻抗匹配，适配不同工艺气体与腔体条件
- 集成匹配状态监测，支持故障预警应用场景：微波 / 射频等离子清洗、蚀刻、去胶设备，如 L3510、PEP3510 系列。
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 