产品名称：等离子系统主控控制模块产品简介：AWD-D 系列核心主控单元，统筹等离子处理设备全局控制，协调各子模块完成完整工艺流程。技术规格：
- 基于工业级微处理器，支持多任务并行处理
- 集成 8 路模拟量输入、16 路数字量 I/O
- 支持工艺配方存储与调用（≥100 组）
- 通信接口：以太网、RS-232/485
- 工作电源：100–240V AC，50/60Hz功能特点：
- 实现设备全流程自动化控制，支持手动 / 自动模式切换
- 实时监控所有工艺参数，生成运行日志
- 支持远程诊断与软件升级
- 具备多级权限管理，保障工艺参数安全应用场景：Gasonics 全系列等离子处理设备（A1000、A2000、L3510 等）的主控系统。
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 