Gasonics AWD-D-2-8-14-002

产品名称：等离子设备温度控制模块产品简介：AWD-D 系列专用温控子模块，精准控制等离子腔体托盘 / 电极温度，保障工艺温度稳定性。技术规格：控温范围：室温–3...