产品名称：等离子设备温度控制模块产品简介：AWD-D 系列专用温控子模块，精准控制等离子腔体托盘 / 电极温度，保障工艺温度稳定性。技术规格：
- 控温范围：室温–350℃
- 控温精度：±0.5℃
- 控制方式：PID 闭环控制
- 传感器类型：K 型热电偶 / PT100
- 输出功率：0–1500W（可控硅输出）功能特点：
- 快速升温与精准恒温，温度波动小
- 支持温度梯度控制，适配特殊工艺需求
- 具备超温保护与传感器故障诊断
- 与主控模块联动，实现温度与工艺同步控制应用场景：等离子去胶、表面处理、晶圆退火等需要精确温度控制的工艺设备。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 