产品名称：等离子设备射频电源控制板产品简介：Gasonics 射频等离子系统专用电源控制模块，负责射频电源的功率输出、频率稳定与保护控制。技术规格：
- 适配射频电源：13.56MHz，0–600W
- 控制方式：PWM 闭环控制
- 保护功能：过压、过流、过热、驻波比保护
- 接口：模拟量控制（0–10V）、故障输出、使能信号
- 工作温度：-10–50℃功能特点：
- 精准调控射频功率输出，线性度好
- 快速响应功率设定，稳定等离子体状态
- 多重保护机制，保障电源与腔体安全
- 兼容主流射频电源品牌，通用性强应用场景：射频等离子蚀刻、沉积、清洗设备的电源控制单元。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 