产品名称：等离子腔体气体分配组件产品简介：Gasonics 等离子设备专用气路分配模块，负责工艺气体的精确分配、混合与输送至腔体，保障气体环境稳定。技术规格：
- 气体通路：4 路独立控制（支持 O₂、N₂、Ar、CF₄等）
- 流量控制：集成高精度 MFC，量程 0–10SLM
- 阀体材质：316L 不锈钢，适配腐蚀性气体
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He
- 工作压力：0–10 Bar功能特点：
- 多路气体独立控制，支持动态配比调节
- 高洁净度设计，无颗粒污染，适配半导体工艺
- 快速响应，气体切换时间短，提升工艺效率
- 集成气体泄漏检测与报警功能应用场景：等离子清洗、蚀刻、去胶设备的气体供应系统，如 L3510、AURA 系列。
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-3 