产品名称：等离子腔体真空密封组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体专用密封与真空隔离部件，保障腔体高真空环境，防止气体泄漏与污染。技术规格：
- 密封材质：全氟醚（Kalrez）/ 氟橡胶（Viton），耐高温腐蚀
- 适用真空度：≤1×10⁻⁶ Torr
- 工作温度：-40–260℃
- 适配腔体：Gasonics L3510、A2000 系列腔体
- 结构形式：中心孔密封、边缘密封、法兰密封功能特点：
- 优异的真空密封性能，长期使用无泄漏
- 耐等离子体腐蚀与工艺气体侵蚀，寿命长
- 弹性好，适配腔体热胀冷缩，密封可靠
- 标准化设计，便于安装与替换应用场景：等离子处理设备腔体、真空阀门、传输腔的密封，保障高真空工艺环境。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 