产品名称：等离子设备气动控制组件产品简介：Gasonics 等离子系统专用气动控制模块，负责腔体门、气体阀门、真空阀等气动执行机构的控制。技术规格：
- 输入气压：4–6 Bar
- 控制端口：8 路独立气动输出
- 响应时间：≤50ms
- 阀体材质：铝合金 / 不锈钢，表面阳极氧化
- 防护等级：IP54功能特点：
- 多路气动阀独立控制，支持快速切换
- 低摩擦设计，动作平稳，无卡顿
- 集成压力监测与故障反馈
- 适配洁净室环境，无颗粒释放应用场景：等离子设备腔体门开关、气体管路通断、真空隔离阀控制等气动执行场景。
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Gasonics A94-062-01
2026-03-19 13:39 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A94-062-01
品牌Gasonics
型号A94-062-01
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