产品名称：等离子腔体射频匹配网络组件产品简介：Gasonics 等离子系统专用射频阻抗匹配单元，用于实现射频电源与等离子腔体负载的高效匹配，保障等离子体稳定激发与功率高效传输。技术规格
- 适配频率：13.56MHz
- 功率范围：0–800W
- 匹配方式：自动闭环匹配
- 输入阻抗：50Ω 标准阻抗
- 冷却方式：强制风冷
- 工作温度：0–50℃功能特点
- 快速响应腔体负载变化，维持低驻波比运行
- 减少射频功率反射，保护射频电源与腔体电极
- 宽范围阻抗匹配能力，适配多种工艺气体与腔体条件
- 内置匹配状态监测与故障报警功能应用场景：射频等离子蚀刻、清洗、去胶设备（如 A1000、A2000 系列）的射频传输系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 