产品名称：等离子设备真空计控制模块产品简介：Gasonics 等离子系统专用真空测量与控制组件，负责腔体真空度的实时采集、信号处理与闭环控制，保障腔体真空环境稳定。技术规格
- 适配真空计：皮拉尼真空计、热阴极电离真空计
- 测量范围：1×10⁻⁶ Torr–760 Torr
- 输出信号：0–10V 模拟量、RS-485 数字信号
- 控制精度：±1% 满量程
- 工作电源：24V DC功能特点
- 多量程真空测量自动切换，覆盖全真空区间
- 真空度实时显示与数据记录，支持工艺追溯
- 与真空阀门联动，实现腔体真空自动调节
- 具备真空异常报警与联锁保护功能应用场景：等离子清洗、去胶、沉积设备的腔体真空控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 