产品名称：等离子腔体电极组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体核心电极部件，用于承载晶圆并耦合射频 / 微波能量，激发等离子体，是等离子反应的核心载体。技术规格
- 材质：6061 铝合金，表面阳极氧化处理
- 尺寸：适配 6 英寸 / 8 英寸晶圆托盘
- 平整度：≤5μm
- 温度控制范围：室温–300℃
- 冷却方式：内部水冷通道功能特点
- 高平整度设计，保障晶圆工艺均匀性
- 优异的热传导性能，实现快速温度调节
- 耐等离子体腐蚀，表面涂层延长使用寿命
- 模块化结构，便于拆卸与维护应用场景：L3510、Aura 系列等离子去胶 / 清洗设备的腔体电极系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 