产品名称：等离子腔体气体喷淋头组件产品简介：Gasonics 等离子设备专用气体分布部件，负责将工艺气体均匀喷淋至腔体内部，形成稳定均匀的气体环境，保障等离子反应一致性。技术规格
- 材质：316L 不锈钢
- 气体通路：4 路独立进气通道
- 喷淋孔数量：≥200 个，孔径均匀
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He
- 适配腔体：Gasonics 单腔体等离子设备功能特点
- 均匀气体分布，消除腔体气流死角
- 高洁净度设计，无颗粒释放，适配半导体工艺
- 耐腐蚀材质，适配 O₂、CF₄等工艺气体
- 快速安装与拆卸，便于清洁维护应用场景：等离子蚀刻、清洗、表面改性设备的气体分配系统。
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 