产品名称：等离子系统工艺控制模块产品简介：AWD-D 系列专用工艺控制子模块，专注于等离子处理工艺参数的精准调控，是实现稳定、可重复工艺的核心控制单元。技术规格
- 控制参数：气体流量、腔体压力、射频功率、温度
- 接口：8 路模拟量输入、12 路数字量 I/O
- 通信协议：Modbus RTU、RS-485
- 工作电源：24V DC，功耗≤20W
- 工作温度：0–45℃功能特点
- 多参数闭环控制，工艺稳定性高
- 支持工艺配方存储与快速调用
- 实时数据采集与故障诊断
- 与主控模块协同，实现全流程自动化应用场景：Gasonics AWD 系列等离子设备的工艺过程控制。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 