产品名称：等离子系统安全联锁控制模块产品简介：AWD-D 系列专用安全控制子模块，负责设备安全联锁逻辑控制，监测设备运行状态，保障人员与设备安全。技术规格
- 监测信号：门开关、急停、真空异常、温度超限
- 输出控制：电源切断、气体切断、真空阀关闭
- 响应时间：≤10ms
- 防护等级：IP20
- 工作电源：24V DC功能特点
- 多重安全联锁机制，符合半导体设备安全标准
- 实时监测所有安全节点，异常立即触发保护
- 故障状态锁定与报警，便于排查
- 独立于主控系统，安全控制优先级最高应用场景：Gasonics 全系列等离子设备的安全联锁控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 