Gasonics AWD-D-2-8-3-001

产品名称：等离子腔体压力控制模块产品简介：AWD-D 系列专用腔体压力控制子模块，负责等离子腔体真空度的精准调节与稳定控制，保障腔体压力环境一致性。技术规格压力...