产品名称：等离子腔体压力控制模块产品简介：AWD-D 系列专用腔体压力控制子模块，负责等离子腔体真空度的精准调节与稳定控制，保障腔体压力环境一致性。技术规格
- 压力控制范围：0.5–10 Torr
- 控制精度：±0.1 Torr
- 控制方式：PID 闭环控制，联动真空调节阀
- 接口：模拟量输出（0–10V）、数字量控制
- 工作温度：0–45℃功能特点
- 快速响应压力设定，稳定腔体压力
- 支持压力梯度控制，适配复杂工艺
- 具备压力异常报警与联锁保护
- 与真空计、真空阀门协同工作应用场景：Gasonics AWD 系列等离子设备的腔体压力控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 