产品名称：等离子系统数据采集与监控模块产品简介：Gasonics 等离子设备专用数据采集单元，负责实时采集、存储与传输设备运行参数，为工艺监控与追溯提供数据支持。技术规格
- 采集通道：16 路模拟量（0–10V/4–20mA）、32 路数字量 I/O
- 采样频率：10Hz / 通道
- 数据存储：内置 16GB Flash，支持≥1 年数据存储
- 通信接口：以太网（TCP/IP）、RS-232
- 工作电源：100–240V AC功能特点
- 全参数实时采集与可视化监控
- 支持工艺数据追溯与报表生成
- 远程数据访问与设备状态监控
- 具备数据异常报警与事件记录功能应用场景：Gasonics 全系列等离子处理设备的工艺数据采集与监控系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 