产品名称：等离子设备气体流量控制模块产品简介：Gasonics 等离子系统专用气体流量控制单元，集成高精度质量流量控制器（MFC），实现工艺气体的精确配比与输送。技术规格
- 气体通路：2 路独立 MFC 控制
- 流量量程：0–5SLM（O₂/N₂）、0–1SLM（CF₄/Ar）
- 控制精度：±1% 满量程
- 阀体材质：316L 不锈钢，耐腐蚀
- 通信接口：RS-485/Modbus功能特点
- 多路气体独立控制，支持动态配比调节
- 高洁净度设计，无颗粒污染
- 快速响应，气体切换时间短
- 集成流量异常报警与联锁保护应用场景：等离子清洗、蚀刻、去胶设备的工艺气体供应系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 