Gasonics AWD-D-3-3-5

产品名称：等离子系统气体流量控制扩展模块产品简介：AWD-D 系列专用气体控制扩展单元，扩展多路 MFC 控制通道，满足复杂工艺对多气体精确配比的需求。技术规格...