产品名称：等离子系统气体流量控制扩展模块产品简介：AWD-D 系列专用气体控制扩展单元，扩展多路 MFC 控制通道，满足复杂工艺对多气体精确配比的需求。技术规格
- 控制通道：5 路独立 MFC 控制
- 流量量程：0–10SLM（O₂/N₂）、0–2SLM（CF₄/Ar）
- 控制精度：±1% 满量程
- 阀体材质：316L 不锈钢
- 通信接口：RS-485功能特点
- 多路气体独立控制，支持动态配比调节
- 高洁净度设计，无颗粒污染
- 快速响应，气体切换时间短
- 集成流量异常报警与联锁保护应用场景：等离子蚀刻、清洗、沉积等多气体工艺的流量控制扩展。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 