产品名称：等离子系统工艺参数采集模块产品简介：AWD-D 系列专用数据采集子模块，专注于等离子工艺关键参数的实时采集、处理与传输，为工艺监控与追溯提供数据支撑。技术规格
- 采集通道：12 路模拟量（0–10V/4–20mA）、24 路数字量 I/O
- 采样频率：20Hz / 通道
- 数据存储：内置 8GB Flash，支持工艺数据长期存储
- 通信接口：以太网（TCP/IP）、RS-232
- 工作温度：0–45℃功能特点
- 全参数高速采集，数据实时性强
- 支持工艺数据可视化与报表生成
- 远程数据访问与设备状态监控
- 数据异常自动报警与事件记录应用场景：Gasonics AWD 系列等离子设备的工艺数据采集与监控系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 