产品名称：微波等离子系统功率控制模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用微波功率控制单元，负责 2.45GHz 微波源的功率输出、频率稳定与多重保护，是微波等离子设备的核心控制部件。技术规格
- 适配微波源：2.45GHz，0–1500W
- 控制方式：0–10V 模拟量闭环控制
- 保护功能：过压、过流、驻波比、水冷异常保护
- 通信接口：RS-485/Modbus
- 工作电源：24V DC功能特点
- 精准线性调控微波功率，输出稳定性高
- 快速响应设定值，维持等离子体稳定激发
- 多重安全保护，保障微波源与腔体安全
- 支持远程监控与参数设定应用场景：Gasonics L3510、PEP 4800DL 等微波等离子去胶 / 清洗设备的微波源控制。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 