Gasonics AWD-D-3-8-007

产品名称：等离子体射频匹配网络模块（增强型）产品简介：在标准型基础上优化的匹配网络，提升了匹配精度与抗干扰能力，适配严苛工艺环境。技术规格匹配频率：13.56M...