产品名称：等离子体射频匹配网络模块（增强型）产品简介：在标准型基础上优化的匹配网络，提升了匹配精度与抗干扰能力，适配严苛工艺环境。技术规格
- 匹配频率：13.56MHz
- 功率容量：0–1200W
- 匹配方式：智能自动调谐（算法优化）
- 调谐时间：<450ms
- 驻波比（VSWR）：<1.08:1（匹配状态）功能特点
- 智能匹配算法，适应复杂等离子负载
- 更高匹配精度，工艺重复性更好
- 抗电磁干扰能力强，减少周边设备影响
- 具备故障诊断功能，便于维护应用场景
- 先进半导体制造中高深宽比结构等离子处理
- 化合物半导体（GaN、SiC）表面清洗与活化
- 光学元件、精密机械零件等离子清洁
- 科研机构高端等离子体工艺研发
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 