产品名称：等离子体射频匹配网络模块（标准型）产品简介：AWD-D 系列标准功率射频电源配套的阻抗匹配组件，适用于中小功率等离子处理设备。技术规格
- 匹配频率：13.56MHz
- 功率容量：0–1000W
- 匹配方式：自动调谐 + 手动微调
- 调谐时间：<500ms
- 驻波比（VSWR）：<1.15:1（匹配状态）功能特点
- 自动匹配为主，手动微调辅助，操作灵活
- 结构紧凑，便于设备内部集成
- 稳定可靠，适应长期连续生产
- 兼容 Gasonics 主流等离子设备应用场景
- 4–8 英寸半导体晶圆等离子去胶与清洗
- 分立器件、传感器等离子表面处理
- 太阳能电池片、LED 芯片等离子活化
- 高校、研究所基础等离子工艺实验
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 