产品名称：等离子体射频匹配网络模块（大功率型）产品简介：与 AWD-D 系列高功率射频电源配套的阻抗匹配组件，实现电源与等离子腔体负载的高效阻抗匹配，最大化功率传输效率。技术规格
- 匹配频率：13.56MHz
- 功率容量：0–1500W
- 匹配方式：自动调谐（电容 / 电感组合）
- 调谐时间：<400ms
- 驻波比（VSWR）：<1.1:1（匹配状态）功能特点
- 快速自动匹配，适应等离子负载动态变化
- 高功率容量，适配大腔体设备
- 低损耗设计，能量传输效率高
- 具备 VSWR 超限保护，保护电源与腔体应用场景
- Gasonics 高功率射频等离子设备功率匹配
- 8–12 英寸半导体晶圆等离子处理
- 先进封装、3D IC 等离子表面处理
- 平板显示（FPD）制程等离子清洗
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 