产品名称：等离子设备电磁阀组件产品简介：Gasonics 等离子设备气体管路控制核心部件，用于精确控制工艺气体的通断与切换。技术规格
- 适用气体：惰性气体、反应性气体（O₂、Ar、CF₄等）
- 工作压力：0–100psi
- 响应时间：<50ms
- 密封材质：全氟醚橡胶（Kalrez）
- 控制方式：24V DC 电磁驱动功能特点
- 快速响应，气体切换精准无延迟
- 耐腐蚀密封，适应高腐蚀性工艺气体
- 低泄漏设计，保障工艺气体纯度
- 长寿命，满足百万次以上开关循环应用场景
- 半导体等离子清洗、刻蚀、去胶工艺气体控制
- 薄膜沉积（PECVD）工艺气体通断控制
- 微加工、表面改性工艺气氛切换
- 科研实验中多种气体组合精确控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 