产品名称：等离子腔体密封组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体专用密封组件，确保腔体高真空环境，防止工艺气体泄漏与外界空气渗入。技术规格
- 密封材质：氟橡胶（Viton）+ 金属增强
- 适用真空度：≤1×10⁻⁷ Torr
- 工作温度：-20–250℃
- 适配腔体：Gasonics A 系列、L 系列等离子腔体功能特点
- 高真空密封性能，长期稳定无泄漏
- 耐高温、耐腐蚀，适应多种工艺气体环境
- 安装便捷，定位精准，重复使用性好
- 符合半导体设备真空密封标准应用场景
- 半导体等离子清洗、去胶腔体密封
- 高真空等离子表面处理设备
- 化合物半导体、MEMS 工艺真空腔体
- 科研实验室高真空系统密封
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 