产品名称：等离子体射频电源控制板产品简介：Gasonics AWD-D 系列射频电源的核心控制单元，负责功率调节、状态监控与保护逻辑执行。技术规格
- 工作电压：24V DC
- 控制信号：模拟量（0–10V）+ 数字 I/O
- 通信接口：RS485，支持 Modbus 协议
- 工作温度：0–50℃
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 实现射频电源功率精确闭环控制
- 实时监控电源运行状态，异常立即报警
- 支持与设备主控系统通信，实现工艺参数追溯
- 具备完善的保护逻辑，保障电源与腔体安全应用场景
- 与 Gasonics AWD-D 系列射频电源配套使用
- 半导体等离子设备功率控制子系统
- 等离子表面处理设备控制单元
- 科研等离子体系统功率控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 