产品名称：等离子腔体观察窗组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体专用观察窗，用于实时观察腔体内部工艺过程，同时保证腔体真空密封。技术规格
- 窗口材质：高纯度石英玻璃
- 尺寸：直径 150mm，厚度 15mm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁶ Torr
- 工作温度：-20–300℃
- 密封方式：金属氟橡胶复合密封功能特点
- 高透光率，清晰观察等离子状态
- 耐高温、耐腐蚀，适应等离子环境
- 高真空密封性能，无泄漏
- 安装便捷，便于清洁与更换应用场景
- 等离子腔体内部工艺过程实时观察
- 设备维护、腔体清洁时的观察窗口
- 工艺状态监控与异常排查
- 手动样品装载与对位辅助观察
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 