Gasonics 90-1031-01

产品名称：射频阻抗自动匹配网络控制模块产品简介：本模块用于射频等离子系统中的阻抗实时匹配，通过快速调节内部匹配网络，使射频电源输出阻抗与等离子体负载阻抗保持一致...