产品名称：射频阻抗自动匹配网络控制模块产品简介：本模块用于射频等离子系统中的阻抗实时匹配，通过快速调节内部匹配网络，使射频电源输出阻抗与等离子体负载阻抗保持一致，最大限度提升能量传输效率，避免反射功率损坏电源。技术规格
- 适用射频功率：中高功率范围
- 工作频率：13.56MHz
- 调节速度：高速自动调节
- 控制模式：自动匹配为主，手动微调为辅功能特点
- 等离子状态变化时可快速追踪并重新匹配
- 反射功率极低，能量利用率高
- 具备匹配异常、过驻波比保护
- 运行稳定，适合长时间连续工艺
- 通用性强，可兼容多款射频电源与腔体应用场景
- 射频等离子刻蚀、等离子增强沉积
- 半导体晶圆去胶、清洗设备
- 射频等离子表面改性、活化处理设备
- 需要高效率射频传输的工业等离子系统
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 