产品名称：真空系统集成控制模块产品简介：该模块是 Gasonics 等离子设备真空系统的专用控制器，负责对真空泵、真空计、真空插板阀、旁路阀等进行统一管理，实现自动抽真空、保压、检漏、破真空等完整流程。技术规格
- 支持真空计类型：皮拉尼、冷阴极、热阴极等
- 真空检测范围：大气压至高真空区间
- 控制对象：机械泵、分子泵、涡轮泵、真空阀门
- 保护逻辑：真空异常、泵故障、过压自动保护功能特点
- 实现多级真空自动切换，无需人工干预
- 实时显示真空度数值，支持数据记录
- 具备真空泄漏检测功能，提高设备安全性
- 支持本地手动控制与远程自动控制双模式
- 逻辑可编程，可适配不同真空流程需求应用场景
- 半导体等离子清洗、刻蚀设备真空控制
- 真空镀膜、键合、退火设备
- 科研实验室高真空系统自动控制
- 量产型真空工艺设备自动化配套
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 