Gasonics AWD-D-2-8-8

产品名称：双路气体配比与压力控制模块产品简介：集成两路独立 MFC 与稳压单元，实现两种工艺气体的精确配比、稳压输出与混合控制，适用于需要稳定气体组分的等离子工...