产品名称：双路气体配比与压力控制模块产品简介：集成两路独立 MFC 与稳压单元，实现两种工艺气体的精确配比、稳压输出与混合控制，适用于需要稳定气体组分的等离子工艺。技术规格
- 通道数：2 路独立控制
- 单路流量：0–500 sccm
- 压力调节：0–10 bar
- 控制方式：PID 闭环
- 材质：316L 不锈钢、耐腐蚀密封
- 接口：VCR / Swagelok功能特点
- 两路气体独立控制，配比精度高
- 稳压响应快，输出压力波动小
- 支持气体切换与自动吹扫
- 超压、欠压、流量异常多级保护
- 适配腐蚀性工艺气体应用场景
- 等离子刻蚀、PECVD 气体配比
- 半导体清洗、表面活化工艺
- 真空系统多气体精确混合
- 高端材料表面处理
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 