产品名称：射频功率监测与保护模块产品简介：用于 Gasonics 射频等离子系统的功率实时监测、反射功率保护与状态诊断模块，保障射频电源与腔体负载匹配安全，避免反射功率损坏设备。技术规格
- 监测频段：13.56 MHz
- 功率范围：0–3000 W
- 反射功率阈值：0–500 W 可调
- 测量精度：±2%
- 输出：报警、切断、匹配器联动
- 通信：模拟量 / 数字总线功能特点
- 实时采集 forward /reflected 功率
- 反射功率超标快速切断射频输出
- 支持匹配器自动联动调节
- 故障记录与历史数据存储
- 适配多款 Gasonics 射频电源应用场景
- 射频等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 半导体晶圆射频工艺系统
- 等离子体源功率安全保护
- 射频匹配网络状态监测
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 