产品名称：单通道工艺气体流量控制单元产品简介：Gasonics 等离子系统专用气体流量控制模块，集成高精度质量流量控制器（MFC），用于单一工艺气体的精确输送、配比与闭环控制，保障等离子反应气体供给稳定。技术规格
- 适用气体：氩气、氮气、氧气、氟碳类气体等
- 流量范围：0–200 sccm / 0–500 sccm（可选）
- 控制精度：±1% F.S.
- 阀体材质：316L 不锈钢
- 接口：VCR 1/4"
- 供电：24V DC
- 响应时间：<100 ms功能特点
- 高精度、低漂移，长期运行稳定
- 内置气体泄漏检测与超流量保护
- 支持远程设定与实时流量反馈
- 抗腐蚀、高洁净设计，适配半导体工艺
- 即插即用，校准便捷应用场景
- 等离子刻蚀、沉积、清洗工艺气体控制
- 半导体晶圆表面改性
- 真空腔体气氛精确调节
- 实验室特种气体流量控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 