产品名称：真空腔体安全联锁控制模块产品简介：专为 Gasonics 等离子处理设备设计的安全控制核心模块，负责真空腔体、工艺门、传动机构的安全联锁与状态监控，确保设备在真空、高压、高温等复杂工况下运行安全，防止人员误操作与设备损坏。技术规格
- 输入信号：多路真空压力、门位、急停、安全光栅信号
- 输出控制：腔体锁闭、真空阀互锁、工艺启动允许、声光报警
- 供电：24V DC
- 防护等级：IP20
- 工作温度：0–50℃
- 通信：RS-485 / 设备内部总线功能特点
- 多重安全逻辑互锁，满足半导体设备安全标准
- 实时监测真空度、门状态、急停信号，异常立即切断工艺
- 支持本地报警与远程状态反馈
- 故障代码显示，便于快速排查
- 模块化设计，安装与更换便捷应用场景
- 半导体等离子清洗、刻蚀、去胶设备
- 真空镀膜、表面处理设备
- 实验室高真空系统安全控制
- 晶圆传输与工艺腔体安全联锁
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 