产品名称：高级真空系统逻辑控制模块产品简介：Gasonics 真空子系统专用控制器，统筹管理真空泵、真空计、插板阀、旁路阀、检漏回路，实现自动抽真空、保压、检漏、破真空全流程自动化。技术规格
- 控制对象：机械泵、分子泵、真空阀组
- 真空监测：皮拉尼、冷阴极、热阴极兼容
- 真空范围：大气压–10⁻⁷ Torr
- 逻辑：可编程、多段时序控制
- 通信：以太网 / RS-485功能特点
- 多级真空自动切换，无需人工干预
- 实时真空曲线显示与数据记录
- 真空泄漏自动检测与报警
- 支持本地手动 / 远程自动双模式
- 故障自诊断，便于维护应用场景
- 半导体等离子设备真空系统
- 高真空镀膜、键合、退火设备
- 科研实验室真空系统控制
- 量产型真空工艺设备自动化
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 