Gasonics AWD-D-1-4–5-001

产品名称：5 点温度采集与控制模块产品简介：用于 Gasonics 腔体、电极、气体管路的多点温度监测与闭环控制模块，保障工艺温度均匀稳定。技术规格测温通道：5...