产品名称：5 点温度采集与控制模块产品简介：用于 Gasonics 腔体、电极、气体管路的多点温度监测与闭环控制模块，保障工艺温度均匀稳定。技术规格
- 测温通道：5 路
- 传感器：PT100 / K 型热电偶
- 温度范围：-20–300℃
- 控制输出：模拟量 / 继电器
- 精度：±0.5℃功能特点
- 多点温度同步采集与显示
- 独立 PID 控制，升温 / 恒温平稳
- 超温、断线、传感器故障报警
- 支持远程温度设定与数据上传
- 适配真空与高温环境应用场景
- 等离子腔体温度控制
- 晶圆加热台、电极温控
- 气体管路、泵体温度监测
- 半导体工艺温度闭环控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 